IC6膜厚控制仪

通知：INFICON公司将于2010年底停止IC5型膜厚控制仪的生产和销售，但会继续保证在使用中的IC5的保修、维护及零部件供应。

从2010年8月起，INFICON公司将正式开始IC5的替代升级型号：IC6的市场销售。

IC6膜厚控制仪

IC/6具有宽广的功能，它可启动抽空过程、控制阀门、启用基片加热器等。这些增强的功能使系统无需配备辅助仪器，从而降低系统的复杂性和成本。IC/6的逻辑与控制功能包含100个可编程的逻辑状态；I/O和TTL继电器电路板提供多至24个继电器输出，28个TTL输入，14个TTL输出，20个计数和20个计时。逻辑状态可与外输入或输出联用。每个状态可包含多至5个功能，并用布尔逻辑链接。IC/6可为源控制或图形记录仪输出提供6个可赋值的模拟输出、沉积速率、膜厚或沉积速率的偏离。

IC6膜厚控制仪的优势：

在保留了IC5的所有技术特点之外，增加了如下几点新功能：

1）TFT-LCD显示屏替代IC5的CRT显像管；

2）USB数据采集接口取代IC5的软盘驱动；

3）测量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ；

4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃；