为维持高安全与纯净标准，晶圆厂采用管道系统的综合检测方案，包括检查、测试及持续监测。长距离气体管道在安装或维护后，必须通过低至1×10⁻⁷ mbar·l/s的泄漏率测试。验证气体输送管道完整性的常规方法是氦气泄漏测试，其流程包括：
作为氦气泄漏检测的补充，实时气体分析仪在加工过程中持续监测气体纯度和压力，对可能表明完整性损失的偏差提供早期预警。
尽管该方法灵敏度非常高，但管道系统本身的复杂性使其具有固有挑战性，且随着管道长度和直径的增加，这些挑战将进一步加剧。在长距离或复杂的管道系统中，氦气从泄漏点传播至探测器可能需要相当长的时间。这将导致：
⚠ 更长的测试时间
⚠ 信号响应延迟
⚠ 晶圆厂建设或扩建期间效率降低
这些挑战不仅需要更强大的工具，更需要深厚的应用专业知识。
凭借数十年来为半导体工厂提供支持的经验，INFICON通过将成熟技术与深厚的应用经验相结合，提升了标准泄漏检测水平。
为解决传统氦气喷射测试在长气体管道上的局限性，专家们将氦气泄漏检测与受控载气流量相结合。即使采用极低载气流量（仅需每分钟数标准立方厘米级），也能显著提升检测效能。实验室测试证实：约100 sccm级的流量通常足以增强信号传播与检测效果，无需大流量供气或改变基本测试条件。该方法的流程如下：
在管道的一端引入载气（通常为空气或氮气）
泄漏检测器连接在另一端
通过泄漏进入的氦气立即与载气混合
气体混合物被快速输送至检测器
这种方法显著缩短了响应时间，即使在长距离或复杂的管道系统中，也能在数秒内完成泄漏检测。
“ 通过将示踪气体与受控载气流量混合，设备工程师实现了更快、更灵敏且更可靠的泄漏检测。这确保了在气体管道投入运行前，其安全性、纯度和性能均得到保障。 "
——Anja Sutorius博士，INFICON应用工程师
Anja Sutorius博士解释道：“使用氮气作为载气具有关键的额外优势。它能显著减少长气管内残留氦气的量，在降低背景氦气浓度的同时，使系统获得更纯净的信号、更高的检测灵敏度、更快的连续测试间稳定性，并大幅降低示踪气体残留风险。这种改进在洁净室环境中尤为重要——即使微量氦气积聚也可能干扰其他测试流程或精密工艺测量。"
工程师在泄漏测试时可选择不同的载气，从而在需要时维持惰性环境。
INFICON泄漏检测方法与应用专长带来可量化的优势：
✔ 显著加快长管道和扩展系统的泄漏检测速度；
✔ 在难以触及或复杂的安装环境中提升测试可靠性；
✔ 通过降低背景氦气实现灵敏度提升；
✔ 通过非常大限度减少示踪气体的使用来降低环境影响。
INFICON不仅是设备供应商，更是半导体行业的长期合作伙伴。我们提供创新的泄漏检测解决方案、智能传感器和智能制造系统，助力晶圆厂加速投产、保障可靠运行并优化资源管理。
凭借仪器设备与深厚的应用专业知识，我们助力半导体制造商守护纯净环境、保障生产安全、维持性能——从当下直至未来。
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