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INFICON AugentTM光学等离子体测量仪是一种紧凑的智能真空监测解决方案。AugentTM将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于1 x 10-7 至 5 mbar 的气体类型监测，并同时测量 1 x 10-7mbar 到大气压的总压力。OPG550 光学等离子真空计