四极质谱仪

INFICON（英福康）四极质谱仪(RGA)有简易的高功能仪器用于监测真空系统，准确地辨别常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速解除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码，将ToolCheck集成于您的系统控制器。

Transpector 2的特点：

1、100－， 200－，和 300－amu 系统带法拉第杯或电子倍增器 / 法拉第杯的组合。

2、改进的氢检测。

3、与原始的 Transpector 相比讯噪比提高 10 倍。

4、快速扫描低值讯号。

5、个量级的电子学动态量程。

6、用于单传感器和多传感器系统的软件选件。

7、分压测量从 1 × 10 -4 乇至 2 × 10 -14 乇。

Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活度，您可以使用当前的计算机或从 INFICON 选购 PC 和软件包。两种通讯链接， RS232 用于单传感器， RS485 用于多传感器配置，将 Transpector2  连接控制计算机。简单的指令协议支配全部 Transpector功能。

RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）应用：

1、检漏

2、真空设备本底状况鉴定

3、在线工艺气体监测分析

4、真空系统泄漏（内漏,外漏）

5、可设置报警点,实现报警功能

与氦质谱检漏仪的区别:

真空系统本底状态鉴定

在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值

真空系统污染监测和控制

清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, H2O,   O2, CO, CO2）

通过软件中的标准气体库,可确定气体成分

真空工艺监控

在线监控:实时反映工艺异常或偏差

数据按时间自动存储（SOD文件）以便日后追溯进行工艺分析：

继电器输出可用于控制阀门

模拟输出可连线PLC

镀膜工艺研究开发

各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响

RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA

小可检分压强（MDPP）

法拉第杯（FC）:  3 x 10-13 Torr

电子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr

质量数（AMU）

取决于需要探测的气体

100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU

200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU

300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU

绝大多数工业应用仅需100AMU传感器

工作压强范围

标准RGA: < 5 x 10-4 Torr

高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

若需在更高压强下工作, 须使用取样系统（IPC400）