IE414,IE514热电离真空计

IE414,IE514热电离真空计

IE414 和 IE514 是基于热阴极电离效应的真空传感器。IE414 是一种 Bayard-Alpert 真空计，而 IE514 则基于抽气机原理。这些无源真空计由 IM540 真空计控制器组合和控制。

通过调节阴极发射电流，IE414 的测量范围从 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超过 9 个分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以达到 2×10-12mbar 的测量下限，这要归功于其本身减少了 X 射线和离子解吸效应。IE414 和 IE514 真空计头专为低放气真空系统设计，可在非常高温度（400 °C）下烘烤。耐高温真空计头电缆套件也可用于超过 200 °C（传感器法兰处为 250 °C）的高温烘烤。

优势

采用单独校准的传感系统，测量精度高

可更换阴极

非常高的高温烘烤温度可达 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 传感原理

测量范围达 2×10-11毫巴

阴极发射电流调制（与 IM540 真空计控制器结合使用）

IE514

抽气机传感原理

低测量极限，低至 2×10-12mbar

显著降低 X 射线和离子解吸效应

典型应用

需要在超高真空范围内进行精确真空测量和高温烘烤的科学和研发应用

运营单位

真空计控制器 IM540

规格

IE414,IE514热电离真空计