UL6000 氦气检漏仪

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000 采用经过领域验证的真空设计，内置 INFICON 砖利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果，确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。

UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得最终结果的周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。

好处

HYDRO-S （HYDROgen-Suppression） 能够快速达到测试条件。

UL6000 晶圆厂 - 附加优势

采用I·RISE，我们的智能上升速率：结合氦气喷涂方法提供设备内增压测试

在 10 秒内完成上升速率测量

有助于最大限度地减少泄漏测试和晶圆厂设备维护的一般时间

速度更快，精度更高

I-CAL （智能 - 泄漏率计算算法） 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。

特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供超卓灵敏度、快速响应和清洗。

前置涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括最大容量和最大腔室）提供极其快速的响应。

经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用没有**、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。

自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。

旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。

可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。

通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于最佳工作状态。

新型工作站设计，带有最佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

典型应用

半导体和平板显示器工具上测试元件、部件和大型腔室泄漏测试

半导体和平板工具泄漏测试

航空元件、部件和系统泄漏测试

储存容器/储罐的泄漏测试

UL6000 氦气检漏仪