止流阀

更新时间： 2025-03-31
产品型号： 225
简单描述
HPS 225系列AUTO-SOFT是一个止流阀，在开始抽空时对低真空泵起节流作用。AUTO-SOFT能在系统开始抽空的瞬间迅速关闭，当达到一定设定的压差时则会自动开启，使整个真空管道线连通以达到实现抽真空过程的平衡。在半导体、薄膜以及其它产业中，AUTO-SOFT 可用来取代压力控制的旁通阀门来提供抽真空的软启动。

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详细介绍

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Series 225系列 AUTO-SOFT®止流阀

HPS 225系列 AUTO-SOFT 是一个止流阀，在开始抽空时对低真空泵起节流作用。AUTO-SOFT能在系统开始抽空的瞬间迅速关闭，当达到一定设定的压差时则会自动开启，使整个真空管道线连通以达到实现抽真空过程的平衡。在半导体、薄膜以及其它产业中，AUTO-SOFT 可用来取代压力控制的旁通阀门来提供抽真空的软启动。这种软启动过程降低了真空系统中的气体湍流，使得系统内部的残留颗粒不会被吹起，从而不会破坏整个工作过程。

AUTO-SOFT有一个位于离心轴的叶片，当压差足够小的时候，一对螺旋弹簧会使叶片打开，而当低真空泵进入运行状态时，zui初抽气气流会关闭叶片，自动地对初级泵进行截流。