| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 电子/电池,综合 |
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160 系列阀门 真空阀门
带有ISO法兰的160系列轴向阀门
MKS拥有波纹管密封真空直阀的完整产品系列，对ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法兰和焊桩产品，其尺寸从3/4" 到6"都有。160系列阀门具有长的设计寿命，适用于高频度使用的场合。其固有简洁性和超卓的设计使它们可以应用于半导体生产设备中，在这些设备中往往存在着化学污染和颗粒沾污。该系列产品还可以用于等离子物理和核加速器等领域中的研究应用中。它通常具有数十万个开/关周期的工作寿命。
零件编号 | 描述 | 连接方式 | 限位开关 | 电磁阀 |
带有ISO法兰的160系列轴向阀门手动
161-0016K | 手动轴向阀门 | ISO-KF NW 16 | 否 | 否 |
161-0025K | 手动轴向阀门 | ISO-KF NW 25 | 否 | 否 |
161-0040K | 手动轴向阀门 | ISO-KF NW 40 | 否 | 否 |
161-0050K | 手动轴向阀门 | ISO-KF NW 50 | 否 | 否 |
161-0063P | 手动轴向阀门 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 否 |
161-0080P | 手动轴向阀门 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 否 |
带有ISO法兰的160系列轴向阀门气动
162-0016K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 16 | 否 | 否 |
162-0025K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 25 | 否 | 否 |
162-0040K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 40 | 否 | 否 |
162-0050K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 50 | 否 | 否 |
162-0063P | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 否 |
162-0080P | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 否 |
带有ISO法兰的160系列轴向阀门 气动 带限位开关
162-1016K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 16 | 是 | 否 |
162-1025K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 25 | 是 | 否 |
162-1040K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 40 | 是 | 否 |
162-1050K | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 50 | 是 | 否 |
162-1063P | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 63 | 是 | 否 |
162-1080P | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 80 | 是 | 否 |
带有ISO法兰的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀*
163-0016K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 16 | 否 | 是 |
163-0025K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 25 | 否 | 是 |
163-0040K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 40 | 否 | 是 |
163-0050K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 50 | 否 | 是 |
163-0063P-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 是 |
163-0080P-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 是 |
160 系列阀门（续）
带有ISO法兰的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀* 和限位开关
163-1016K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 16 | 是 | 是 |
163-1025K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 25 | 是 | 是 |
163-1040K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 40 | 是 | 是 |
163-1050K-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-KF NW 50 | 是 | 是 |
163-1063P-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 63 | 是 | 是 |
163-1080P-XXXXX | 气动轴向阀门 | ISO-Universal NW 80 | 是 | 是 |
电磁阀
*注：在确定带电磁阀的气动阀门零件编号时，请先选择所需的电压和频率，随后决定扩展零件编号。
零件编号示例: 163-1160P-24VDC
电压和频率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件编号 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
带有CF法兰的160系列轴向阀门
零件编号 | 描述 | 连接方式 | 限位开关 | 电磁阀 |
带有CF法兰的160系列轴向阀门手动
161-0016C | 手动轴向阀门 | 1-1/3" CF | 否 | 否 |
161-0025C | 手动轴向阀门 | 2-1/8" CF | 否 | 否 |
161-0040C | 手动轴向阀门 | 2-3/4" CF | 否 | 否 |
161-0050C | 手动轴向阀门 | 3-3/8" CF | 否 | 否 |
161-0063C | 手动轴向阀门 | 4-1/2" CF | 否 | 否 |
161-0080C | 手动轴向阀门 | 4-5/8" CF | 否 | 否 |
带有CF法兰的160系列轴向阀门气动
162-0016C | 气动轴向阀门 | 1-1/3" CF | 否 | 否 |
162-0025C | 气动轴向阀门 | 2-1/8" CF | 否 | 否 |
162-0040C | 气动轴向阀门 | 2-3/4" CF | 否 | 否 |
162-0050C | 气动轴向阀门 | 3-3/8" CF | 否 | 否 |
162-0063C | 气动轴向阀门 | 4-1/2" CF | 否 | 否 |
162-0080C | 气动轴向阀门 | 4-5/8" CF | 否 | 否 |
带有CF法兰的160系列轴向阀门 气动 带限位开关
162-1016C | 气动轴向阀门 | 1-1/3" CF | 是 | 否 |
162-1025C | 气动轴向阀门 | 2-1/8" CF | 是 | 否 |
162-1040C | 气动轴向阀门 | 2-3/4" CF | 是 | 否 |
162-1050C | 气动轴向阀门 | 3-3/8" CF | 是 | 否 |
162-1063C | 气动轴向阀门 | 4-1/2" CF | 是 | 否 |
162-1080C | 气动轴向阀门 | 4-5/8" CF | 是 | 否 |
160 系列阀门（续）
带有CF法兰的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀*
163-0016C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1-1/3"CF | 否 | 是 |
163-0025C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2-1/8" CF | 否 | 是 |
163-0040C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2-3/4" CF | 否 | 是 |
163-0050C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 3-3/8" CF | 否 | 是 |
163-0063C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 4-1/2" CF | 否 | 是 |
163-0080C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 4-5/8" CF | 否 | 是 |
带有CF法兰的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀* 和限位开关
163-1016C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1-1/3" CF | 是 | 是 |
163-1025C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2-1/8"CF | 是 | 是 |
163-1040C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2-3/4" CF | 是 | 是 |
163-1050C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 3-3/8" CF | 是 | 是 |
163-1063C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 4-1/2"CF | 是 | 是 |
163-1080C-XXXXX | 气动轴向阀门 | 4-5/8" CF | 是 | 是 |
电磁阀
*注：在确定带电磁阀的气动阀门零件编号时，请先选择所需的电压和频率，随后决定扩展零件编号。
零件编号示例: 163-1160P-24VDC
电压和频率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件编号 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
带有焊桩的160系列轴向阀门
零件编号 | 描述 | 连接方式 | 限位开关 | 电磁阀 |
带有焊桩的160系列轴向阀门 手动
161-0016T | 手动轴向阀门 | 0.75" | 否 | 否 |
161-0025T | 手动轴向阀门 | 1" | 否 | 否 |
161-0040T | 手动轴向阀门 | 1.5" | 否 | 否 |
161-0050T | 手动轴向阀门 | 2" | 否 | 否 |
161-0063T | 手动轴向阀门 | 2.5" | 否 | 否 |
161-0080T | 手动轴向阀门 | 3" | 否 | 否 |
带有焊桩的160系列轴向阀门 气动
162-0016T | 气动轴向阀门 | 0.75" | 否 | 否 |
162-0025T | 气动轴向阀门 | 1" | 否 | 否 |
162-0040T | 气动轴向阀门 | 1.5" | 否 | 否 |
162-0050T | 气动轴向阀门 | 2" | 否 | 否 |
162-0063T | 气动轴向阀门 | 2.5" | 否 | 否 |
162-0080T | 气动轴向阀门 | 3" | 否 | 否 |
160 系列阀门（续）
带有焊桩的160系列轴向阀门 气动 带限位开关
162-1016T | 气动轴向阀门 | 0.75" | 是 | 否 |
162-1025T | 气动轴向阀门 | 1" | 是 | 否 |
162-1040T | 气动轴向阀门 | 1.5" | 是 | 否 |
162-1050T | 气动轴向阀门 | 2" | 是 | 否 |
162-1063T | 气动轴向阀门 | 2.5" | 是 | 否 |
162-1080T | 气动轴向阀门 | 3" | 是 | 否 |
带有焊桩的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀*
163-0016T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 0.75" | 否 | 是 |
163-0025T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1" | 否 | 是 |
163-0040T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1.5" | 否 | 是 |
163-0050T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2" | 否 | 是 |
163-0063T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2.5" | 否 | 是 |
163-0080T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 3" | 否 | 是 |
带有焊桩的160系列轴向阀门 气动 带电磁阀* 和限位开关
163-1016T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 0.75" | 是 | 是 |
163-1025T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1" | 是 | 是 |
163-1040T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 1.5" | 是 | 是 |
163-1050T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2" | 是 | 是 |
163-1063T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 2.5" | 是 | 是 |
163-1080T-XXXXX | 气动轴向阀门 | 3" | 是 | 是 |
电磁阀
*注：在确定带电磁阀的气动阀门零件编号时，请先选择所需的电压和频率，随后决定扩展零件编号。
真空阀门
零件编号示例: 163-1160P-24VDC
电压和频率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件编号 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
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