英福康高压强热电离皮拉尼真空计

更新时间： 2025-03-31
产品型号： HPG400
简单描述
INFICON英福康高压强热电离皮拉尼真空计HPG400型将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中，可测量 2×10-6 毫巴至大气压（1.5×10-6 托至大气压）范围内的压力。 HPG400 型真空计为准确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。

在线询价联系我们

详细介绍

品牌	INFICON/美国	产地类别	进口
应用领域	电子/电池,综合

英福康高压强热电离皮拉尼真空计HPG400将高压强热电离与皮拉尼真空计综合，在一个小型, 轻便与经济的规管中, 测量压强从 2 x 10-6 毫巴至大气压（1.5 x 10-6 乇至大气压）。 HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量, 用于准确溅射过程的压强控制。

优势

1.英福康高压强热电离皮拉尼真空计节省成本和设备空间, 降低真空测量的安装与设置的复杂性

2.高压强热电离真空计从1×10-5至1毫巴为要求高的过程控制提供准确, 可靠的压强测量

3.用户可选的热电离发射在5×10-2至1毫巴之间起始工作

4.皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

5.备有可选的图形显示器和Fieldbus接口

6.高真空皮拉尼自动调整, 减少操作人员的干预

用途

1.半导体制造中溅射工艺应用, 电子学和传媒工业

2.工业镀膜

3.在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制